由于等離子體所具有的高能量，材料表面的化學(xué)物質(zhì)或有機(jī)污染物能夠被分解，所有可能干擾附著的雜質(zhì)被有效去除，從而使材料表面達(dá)到后續(xù)涂裝工藝所要求的較好條件。

　　使用等離子技術(shù)按照工藝的要求進(jìn)行表面清洗，對(duì)表面無(wú)機(jī)械損傷，無(wú)需化學(xué)溶劑*的綠色環(huán)保工藝，脫模劑、添加劑、增塑劑或者其它由碳?xì)浠衔飿?gòu)成的表面污染都能夠被去除。通過(guò)等離子進(jìn)行的表面清洗能夠除去緊密附著在塑料表面的細(xì)小的灰塵顆粒。通過(guò)一系列的反應(yīng)和相互作用，等離子清洗設(shè)備能夠?qū)⑦@些灰塵顆粒從物體表面*除去。這樣可以大大降低高品質(zhì)要求的涂裝作業(yè)的廢品率，比如汽車(chē)工業(yè)里的涂裝作業(yè)。通過(guò)在微觀(guān)層面上的一系列物理化學(xué)作用，等離子的表面清洗作用能夠獲得精細(xì)的高品質(zhì)表面。

　　1）對(duì)材料表面的刻蝕作用--物理作用

　　等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細(xì)坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤(rùn)濕性能。

　　2）激活鍵能，交聯(lián)作用

　　等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性。

　　3）形成新的官能團(tuán)--化學(xué)作用

　　如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體，那么在活化的材料表面會(huì)發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，引入新的官能團(tuán)，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán)，能明顯提高材料表面活性。

　　由于等離子清洗設(shè)備的功能和用途如此之多，因此成為光學(xué)、光電子、光通訊、電子、微電子、半導(dǎo)體、激光、芯片、珠寶、顯示、航天航空、生命科學(xué)、醫(yī)學(xué)、牙科、生物、物理、化學(xué)等各方面清洗的*。