1)首先查看真空泵與等離子清洗設(shè)備安裝是否按照手冊說明指示。

　　2)按照手冊上的故障排除,看是否都正常。

　　等離子清洗設(shè)備的檢測:

　　A,在斷電的情況下,檢查等離子清洗設(shè)備尾部電源邊的保險(xiǎn)盒內(nèi)的保險(xiǎn)管是否正常,無燒斷跡象;如果此項(xiàng)檢測失敗,建議更換相匹配保險(xiǎn)管。

　　B,接通電源(打開等離子機(jī)控制面板左下角的電源開關(guān)),測試RF檔位處于低、中、

　　高時(shí)(LOW/MED/HI)熒光燈是否都點(diǎn)亮(熒光燈置入反應(yīng)艙內(nèi),用手懸空拿著;一般在低檔位時(shí)比較難點(diǎn)亮,建議依次從位開始);如果此項(xiàng)檢測失敗(熒光燈未點(diǎn)亮,證明等離子機(jī)內(nèi)部的真空管或是電子部件燒毀。),需要廠家更換或是維修。

　　真空泵的調(diào)試:

　　首先按照真空泵手冊調(diào)試真空泵。

　　A,首先目測真空泵側(cè)面上的玻璃油標(biāo)顯示的油位是否處于中間水平,如果不是,需要用內(nèi)六角螺絲擰開上面的注油口,用漏斗注入適量泵油。

　　B,接通電源,開動真空泵,看真空泵的旋轉(zhuǎn)方向?yàn)轫槙r(shí)針(檢測后,關(guān)閉電源)。

　　C,在真空泵與等離子清洗設(shè)備密封連接的前提下,開動真空泵,然后用反應(yīng)艙蓋蓋住反應(yīng)艙,讓真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)大約5分鐘。此時(shí)真空泵在抽反應(yīng)艙內(nèi)空氣(此時(shí)等離子清洗設(shè)備處于關(guān)機(jī)狀態(tài))。

　　D,大約五分鐘后,關(guān)閉真空泵電源,檢查玻璃油標(biāo)顯示的油位是否處于中間水平;如果不是,按照步驟A指示添加油。

　　3)按照以下程序現(xiàn)場測試清洗機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn):

　　1.抽空真空艙內(nèi)的空氣,

　　放置樣本入艙內(nèi)

　　關(guān)閉三通閥(箭頭朝下)

　　握住清洗機(jī)門靠近真空艙

　　2.抽氣,

　　打開三通閥與室內(nèi)空氣相通,(lever指向針形閥needlevalve)

　　輕輕打開針型閥,讓空氣進(jìn)入清洗機(jī)艙內(nèi)。(needlevalve要先關(guān)閉)

　　3.形成等離子,

　　開啟等離子清洗設(shè)備前面控制面板的電源開關(guān),

　　用RF開關(guān),選擇適當(dāng)?shù)腞F頻率,

　　透過等離子側(cè)面或是上面的孔觀測,直等到看到輝光。至于空氣,輝光發(fā)電應(yīng)該是紫粉色。這顯示等離子產(chǎn)生了。

　　輕輕調(diào)節(jié)針型閥,直到等離子密度明顯大化。

　　4.等離子處理,

　　按所需時(shí)間處理樣本,

　　處理完畢后,把RF關(guān)掉(off)

　　關(guān)閉等離子清洗設(shè)備。

　　5.真空艙通氣,

　　關(guān)閉真空泵

　　握住清洗機(jī)門,慢慢打開三通閥至vent(lever指向ventflow),當(dāng)給艙通氣時(shí),繼續(xù)握住門。

　　一旦恢復(fù)到大氣壓,挪開門。

　　關(guān)閉針型閥*關(guān)閉三通閥*取出樣本。