等離子清洗機(jī)連續(xù)運(yùn)行的時(shí)間常常會(huì)在八個(gè)小時(shí)以上，在這種情況下，清洗機(jī)的真空反應(yīng)腔室內(nèi)的所有部件，包括反應(yīng)腔本體、電極板、托架以及附件等表面溫度比較高，如果沒(méi)有相關(guān)配套的冷卻循環(huán)系統(tǒng)，取放產(chǎn)品或材料不帶隔熱手套容易被燙傷;同時(shí)處理環(huán)境溫度過(guò)高，對(duì)于一些不耐溫的產(chǎn)品或材料，就會(huì)引發(fā)物理形變、表面變色或燒焦等現(xiàn)象，甚至影響等離子處理效果。那么等離子清洗機(jī)處理產(chǎn)品的散熱問(wèn)題如何解決呢?這可是行業(yè)的一大痛點(diǎn)，今天小編想和大家共同探討一下。
 

　　一、等離子清洗機(jī)處理產(chǎn)品或材料的反應(yīng)機(jī)制：
 

　　清洗機(jī)處理產(chǎn)品是在低壓反應(yīng)腔室里面進(jìn)行的，基本操作流程把需要處理的物件放在托架或者是電極上面，關(guān)上反應(yīng)腔體室的門;然后抽真空至設(shè)定的背底真空值，通入相應(yīng)的工藝氣體并維持真空度在20-100Pa范圍;接下來(lái)啟動(dòng)電源形成等離子體與產(chǎn)品或材料進(jìn)行物理或化學(xué)反應(yīng)，包括等離子清洗、等離子活化、等離子刻蝕和等離子聚合等;等整個(gè)反應(yīng)完成后，通入壓縮空氣或氮?dú)?，進(jìn)行破空，取出物件。
 

　　二、等離子清洗機(jī)的放電原理和熱的形成：
 

　　1. 從清洗機(jī)的反應(yīng)機(jī)制來(lái)看，等離子放電的環(huán)境是在一個(gè)密閉的腔室里面，而且要維持一定的真空度，這是關(guān)鍵!氣體在低氣壓狀態(tài)下，分子間的距離會(huì)比較大，相互之間的作用力就比較脆弱;當(dāng)有電場(chǎng)、磁場(chǎng)等外來(lái)能量加速種子電子去碰撞氣體分子時(shí)，等離子體就形成了。
 

　　2. 等離子體是由電子、離子、自由基、激發(fā)態(tài)分子和原子、基態(tài)分子和光子等組成，表面上看呈電中性，其實(shí)內(nèi)部具有很強(qiáng)的電特性、化學(xué)特性和熱效應(yīng)。
 

　　3. 清洗機(jī)產(chǎn)生的等離子體屬于非平衡等離子體，氣體溫度遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于電子溫度，而且電子質(zhì)量小到可以忽略不計(jì);即便如此，電子溫度也是上萬(wàn)度，這樣的話，在等離子產(chǎn)生和滅失的過(guò)程中，通過(guò)碰撞、輻射和接合等就會(huì)形成大量的熱，很少的一部分被真空泵抽走，大部分還是留在真空反應(yīng)腔室內(nèi)。

 

　　三、等離子清洗機(jī)處理產(chǎn)品的的散熱方式和改善措施：
 

　　我們都知道，散熱的方式大致有四種：輻射、傳導(dǎo)、對(duì)流、蒸發(fā)。對(duì)于清洗機(jī)的反應(yīng)腔本體、電極板、托架以及附件的散熱，主要是靠傳導(dǎo)散熱和輻射散熱，少量的對(duì)流散熱。
 

　　1. 清洗機(jī)的反應(yīng)腔室本體一般都是鋁或不銹鋼的材質(zhì)，電極板基本上采用鋁合金，這兩部分在等離子體處理產(chǎn)品的時(shí)候吸收了大量的熱，不加任何配套設(shè)施的情況下，就會(huì)以傳導(dǎo)的方式和熱射線的形式散發(fā)給周圍溫度較低的物體，例如機(jī)臺(tái)緊固件、外殼和低溫空氣中。
 

　　改善措施：給電極和反應(yīng)腔室增加冷卻系統(tǒng)，例如電極采取蛇形管貼附或者中通冰水的方式，可以大大改善散熱效果。
 

　　2. 真空狀態(tài)下氣體往往以擴(kuò)散方式進(jìn)行，很難形成對(duì)流;清洗機(jī)腔室內(nèi)的熱量，由真空泵帶走的也是比較有限。
 

　　改善措施：加大進(jìn)氣量或提高抽速，但要考慮放電的真空度和等離子處理效果。
 

　　其他方面，等離子發(fā)生器的選型、功率大小的設(shè)定、真空腔室大小和電極結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)等，對(duì)于散熱問(wèn)題的改善也是有幫助的。