經(jīng)常有客戶(hù)在使用等離子清洗機(jī)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行產(chǎn)品處理時(shí)會(huì)出現(xiàn)產(chǎn)品變色的情況出現(xiàn)，尤其是在半導(dǎo)體封裝鍵合元器件上出現(xiàn)的頻率很大。今天就讓我們來(lái)分析一下是什么原因?qū)е铝说入x子清洗后產(chǎn)品變色。
 

　　等離子體被稱(chēng)為“物質(zhì)的第四態(tài)”。我們通常認(rèn)知和接觸的物質(zhì)狀態(tài)有三種：氣態(tài)、液態(tài)和固態(tài)，同一種物質(zhì)所含能量不同時(shí)，會(huì)在三種狀態(tài)之間相互轉(zhuǎn)換，z低能量狀態(tài)是固態(tài)，固態(tài)吸收能量轉(zhuǎn)化成液態(tài)，液態(tài)吸收能量轉(zhuǎn)化成氣態(tài)，氣態(tài)是三個(gè)狀態(tài)中能量高的。氣態(tài)物質(zhì)吸收更多的能量，就會(huì)產(chǎn)生物質(zhì)的第四態(tài)，也就是等離子體。等離子體呈電中性，由電子、離子、光子和中性粒子組成，其中電子和正離子的數(shù)量基本相等，但等離子體并是穩(wěn)定的物質(zhì)狀態(tài)，當(dāng)使其電離的能量消失，各種粒子會(huì)重新結(jié)合，形成原來(lái)的氣態(tài)分子。
 

　　低溫等離子體中存在著大量種類(lèi)繁多的活性粒子，它們比通常的化學(xué)反應(yīng)所產(chǎn)生的活性粒子活性更強(qiáng)、種類(lèi)更多，這些活性粒子很容易和材料表面發(fā)生反應(yīng)，因此常被用來(lái)對(duì)材料表面進(jìn)行清洗或改性。
 

　　等離子體清洗的機(jī)理主要是與材料表面發(fā)生反應(yīng)，這種反應(yīng)分為兩種：一種是粒子的化學(xué)作用，主要是自由基活性粒子;另一種是粒子的物理作用，主要是正離子和電子。
 

　　氣體放電產(chǎn)生的等離子體中有電子、正離子、亞穩(wěn)態(tài)的分子和原子等，當(dāng)被清洗間浸沒(méi)到等離子中時(shí)，等離子體中的化學(xué)活性粒子就與材料表面的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，如果是氫離子，反應(yīng)為還原反應(yīng);如果是氧離子，則發(fā)生氧化反應(yīng)。
 

　　導(dǎo)致等離子清洗產(chǎn)品變色原因及解決辦法如下：
 

　　被清洗件表面變色的主要原因有兩點(diǎn)，一是因射頻頻率、功率選擇不當(dāng)，導(dǎo)致零件整體溫度過(guò)高，造成材料變性或整體氧化;二是因零件形狀復(fù)雜，等離子體在零件局部形成了熱點(diǎn)，導(dǎo)致局部溫度過(guò)高，造成局部變性或氧化。
 

　　總的來(lái)說(shuō)變色是由于產(chǎn)品表面被氧化導(dǎo)致，解決辦法如下：如果產(chǎn)品易被氧化，一般可以充入氬氣和氫氣的混合氣體， 把氫氣比例控制在一定范圍內(nèi)，兼顧安全性和效率的平衡，易被氧化的產(chǎn)品，應(yīng)該避免清洗腔室有氧氣的存在，可以通入氫氣將氧氣還原掉。此外功率過(guò)大溫度過(guò)高導(dǎo)致的產(chǎn)品變色，可以適當(dāng)調(diào)整降低功率，將其控制在一個(gè)合適的范圍內(nèi)。